YYVIP易游三米科思申请高精度气浮平移台及其控制方法专利实现了极高的动态运动精度

　　YYVIP易游·(中国有限公司)官方网站

　　国家知识产权局信息显示，江苏三米科思半导体设备有限公司申请一项名为“一种高精度气浮平移台及其控制方法”的专利，公开号CN121335469A，申请日期为2025年11月。

　　专利摘要显示，本发明涉及半导体高精度检测及加工的技术领域，尤其涉及一种高精度气浮平移台及其控制方法；花岗岩承载基座上以气浮方式滑动安装有Y轴移动气浮平台，Y轴移动气浮平台上以气浮方式滑动安装有X轴移动气浮平台，且Y轴移动气浮平台与X轴移动气浮平台的运动方向互相垂直设置；第三移动平台模块通过柔性结构柔性连接在X轴移动气浮平台的X移动基座上的结构，达到系统能够在线检测并利用差动运动直接补偿晶圆的角度误差和机械导向面的安装误差，并且实现了晶圆载物台精密的主动调平与动态实时聚焦，还消除了线缆应力并避免了颗粒污染，实现了极高的动态运动精度、优异的重复定位稳定性、对工作环境卓越的适应性、操作便捷性与维护经济性的效果。

　　天眼查资料显示，江苏三米科思半导体设备有限公司，成立于2020年，位于常州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏三米科思半导体设备有限公司财产线条，此外企业还拥有行政许可3个。

　　声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。