YYVIP易游芯火微测申请芯片检测扫描电镜专利使得芯片检测使用场景得到拓展

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　　国家知识产权局信息显示，芯火微测（成都）科技有限公司申请一项名为“一种芯片检测扫描电镜”的专利，公开号CN121331725A，申请日期为2025年12月。

　　专利摘要显示，本发明公开了一种芯片检测扫描电镜，包括壳体，壳体内沿竖向设置有扫描电子显微镜装置、样品台，壳体内还倾斜设置有聚焦离子束装置，样品台包括底座以及可摆动地设置在底座上的第一平台，底座上设置有用于驱动第一平台发生偏转的偏转装置，底座上设置有连接座，连接座上可摆动地设置有第二平台，第二平台位于第一平台的上方；连接座上还设置有驱动机构。与现有技术相比，本发明的芯片检测扫描电镜利用了设备原有样品台（即第一平台）的偏转实现对第二平台的偏转驱动，通过第一平台的多次偏转可实现第二平台更大幅度的偏转，使得芯片检测使用场景得到拓展，例如可实现对芯片更大角度的检测观察。

　　天眼查资料显示，芯火微测（成都）科技有限公司，成立于2022年，位于成都市，是一家以从事专业技术服务业为主的企业。企业注册资本7000万人民币。通过天眼查大数据分析，芯火微测（成都）科技有限公司参与招投标项目28次，财产线条，此外企业还拥有行政许可3个。

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