更新时间:2026-02-02
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国家知识产权局信息显示,无锡亘芯悦科技有限公司申请一项名为“一种扫描电镜成像补偿装置、成像补偿方法以及扫描电镜”的专利,公开号CN 121054455 A,申请日期为2025年8月。
专利摘要显示,本申请涉及电子束扫描技术领域,特别是涉及一种扫描电镜成像补偿装置、成像补偿方法以及扫描电镜。该装置包括:主控模块,用于生成所述扫描电镜工作时的扫描波形以及扫描时序;增益补偿模块,与所述主控模块相连接,用于根据所述扫描电镜的误差参数,对所述扫描波形进行补偿调节,并输出补偿调节后的所述扫描波形,所述误差参数包括增益误差值以及角度误差值;偏转模块,与所述增益补偿模型相连接,用于接收补偿调节后的所述扫描波形,并根据补偿调节后的所述扫描波形控制电子束,实现对待成像样品的成像扫描。该装置能够提高成像矫正的精度和稳定性。
天眼查资料显示,无锡亘芯悦科技有限公司,成立于2022年,位于无锡市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本2237.4682万人民币。通过天眼查大数据分析,无锡亘芯悦科技有限公司共对外投资了2家企业,参与招投标项目3次,财产线条,此外企业还拥有行政许可11个。
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