yy.vip易游-无锡亘芯悦科技申请扫描电镜参数校正方法专利提高正交性和扫描灵敏度的校正精度

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　　国家知识产权局信息显示，无锡亘芯悦科技有限公司申请一项名为“一种用于扫描电镜的参数校正方法、装置、设备、介质和程序产品”的专利，公开号CN121639530A，申请日期为2025年11月。

　　专利摘要显示，本申请涉及半导体制造技术领域，特别是涉及一种用于扫描电镜的参数校正方法、装置、设备、介质和程序产品。所述方法包括：响应于对目标设备的校正请求，获取待测样品的检测图像，检测图像包括预设的特征结构；对检测图像进行处理，得到特征结构的边缘点集；对边缘点集进行拟合处理，得到相对应的拟合图形以及相关联的图形参数；基于图形参数确定拟合图形的图像特征评价参数；基于图像特征评价参数确定目标设备的校正参数，基于校正参数迭代验证并调整目标设备，直至图像特征评价参数满足预设的校正约束条件，校正约束条件为所述目标设备满足校正标准时图像特征评价参数的约束区间。采用本方法能够提高正交性和扫描灵敏度的校正精度和效率。

　　天眼查资料显示，无锡亘芯悦科技有限公司，成立于2022年，位于无锡市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本2237.4682万人民币。通过天眼查大数据分析，无锡亘芯悦科技有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目3次，财产线条，此外企业还拥有行政许可11个。

　　声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。